Uri ng Sensor: Bubble Detector, Uri ng Output: PNP - Open Collector, Temperatura ng Pagpapatakbo: -25°C ~ 55°C (TA),
Uri ng Sensor: Bubble Detector, Uri ng Output: NPN - Open Collector, Temperatura ng Pagpapatakbo: -25°C ~ 55°C (TA),
Uri ng Sensor: Liquid Leakage, Uri ng Output: PNP - Open Collector,
Uri ng Sensor: Liquid Leakage, Uri ng Output: NPN - Open Collector,
Uri ng Sensor: Wafer Alignment, Uri ng Output: Analog, Temperatura ng Pagpapatakbo: -10°C ~ 40°C (TA),
Uri ng Sensor: Liquid Leakage, Uri ng Output: NPN - Open Collector, Temperatura ng Pagpapatakbo: -10°C ~ 60°C (TA),
Uri ng Sensor: Laser Power Monitor, Uri ng Output: Voltage,